Spesifikasjon | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(luftlagerskinne) |
Motortype | Trefaset jernfri motor | Talespolemotor+ |
Vedtak | Standard 100nm digital mengde | 1vpp ned til 5nm |
Motorkraft | Kontinuerlig 60N/topp 210N | Kontinuerlig 60N/topp 210N |
Minimum trinnstørrelse[nm] | 200nm | 100nm |
Reise [mm] | 200×200 | 10 |
Repeterbarhet [um] | ±0,3 | |
Posisjonsnøyaktighet [um] | ±1 | ±0,5 |
flathet [um] | 10 um | 5 um |
Retthet [um] | 1um | 1um |
Maks hastighet [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Lastekapasitet [kg] | 5 kg (Z-akse med pneumatisk konstant kraftbalansevekt) |